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CVD-1700浮子混氣系統
關 鍵 詞:高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗、材料制備、納米線生長、材料燒結
CVD-1700平臺由SGL-1700進口真空環境室環境環境管式爐,HQF-Ⅲ浮子混氣平臺,內嵌紅外室內溫度測量平臺及進口真空環境室環境環境平臺等組成的。此平臺焙燒室溫大約1700℃;進口真空環境室環境環境泵主要采用雙極旋片進口真空環境室環境環境泵,進口真空環境室環境環境度大約到5x10-1Pa;可控制有差異 的1~3路氣物混和;內嵌紅外室內溫度測量平臺可實時更新監測技術反應管徑的室溫變現。
型       號:CVD-1700
品       牌:鉅晶
發貨周期:1-5個工作日
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CVD-1700控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)(tong)由SGL-1700真(zhen)空體(ti)管式(shi)爐,HQF-Ⅲ浮(fu)子混(hun)氣體(ti)統(tong)(tong),原機(ji)環境溫度測(ce)(ce)量體(ti)統(tong)(tong)及(ji)蒸空體(ti)統(tong)(tong)等(deng)構成的(de)(de)。此體(ti)統(tong)(tong)煅(duan)燒(shao)環境溫度能(neng)達(da)到1700℃;負(fu)壓(ya)室(shi)泵使用雙極旋片負(fu)壓(ya)室(shi)泵,負(fu)壓(ya)室(shi)度高達(da)到5x10-1Pa;可(ke)實(shi)現(xian)目標(biao)有(you)所差(cha)(cha)異的(de)(de)1~3路氣味混(hun)合物(wu);內裝(zhuang)置溫差(cha)(cha)測(ce)(ce)試設計可(ke)公交實(shi)時監(jian)測(ce)(ce)方(fang)案反映(ying)管道內部的(de)(de)溫差(cha)(cha)轉變。

主耍功能鍵和共同點:

1、高進口負壓整體由雙極旋(xuan)片進口負壓泵(beng)(beng)和原子核泵(beng)(beng)結構,高進口負壓會達0.0001Pa;

2、可配合壓(ya)強設定(ding)(ding)儀設定(ding)(ding)廢(fei)氣工作壓(ya)力(li)實現目標空氣壓(ya)力(li)的脫貧攻堅設定(ding)(ding);

3、數字1水平(ping)留量的(de)掌握(wo)裝置是由(you)多路(lu)水平(ping)留量計,留量表明儀等成(cheng)分,確保(bao)甲烷混合氣(qi)體(ti)的(de)留量的(de)精密(mi)五金檢測和的(de)掌握(wo);一條甲烷混合氣(qi)體(ti)壓縮(suo)空氣(qi)管道均設備高(gao)壓電(dian)逆(ni)止閥(fa),擔保(bao)裝置的(de)安全可靠性(xing)(xing)和間(jian)斷勻稱性(xing)(xing)。

4、按照KF更快(kuai)的(de)蝶閥法(fa)蘭密封性,工作效率高(gao)便利快(kuai)捷鍵;濾油器選取Swagelok卡套銜(xian)接,不漏氣;

5、超溫、過壓時,自動式中斷(duan)受熱電(dian)及用(yong)戶量計進氣,應(ying)用(yong)健(jian)康(kang)好用(yong)性。

包括用處:

高(gao)(gao)等(deng)(deng)學校、科研管(guan)理(li)院所、礦山(shan)機械制造業企業做(zuo)高(gao)(gao)溫(wen)環境氣息煅燒(shao)、氣息回歸、CVD/CVI實(shi)驗操作,比(bi)較主要用于于真空箱鍍膜等(deng)(deng)等(deng)(deng)、微米級(ji)膜村料(liao)制取、微米級(ji)線生長(chang)期、動力電池村料(liao)干躁燒(shao)結工藝等(deng)(deng)經(jing)營場所。

一般技藝數據:

SGL-1700真空體管式爐

雙層(ceng)線路(lu)爐殼間配備有風(feng)冷(leng)控(kong)制(zhi)系(xi)統,高(gao)效(xiao)絕對(dui)機(ji)殼表(biao)明溫;

日(ri)式(shi)技術水平(ping)蒸(zheng)空(kong)降解壓延(yan)成型的高質量高純(chun)硫化鋁多晶氯綸固定爐膛,保(bao)溫功效好

電加熱(re)組件用到進口商良(liang)好U型硅鉬棒,面變壓器容量高(gao),有很大程度的(de)改善(shan)了其的(de)使用質保(bao)期

線電壓

AC220V      50/60Hz

馬力

6KW

爐管

應(ying)用(yong)99氧化(hua)反應(ying)鋁剛玉管,緊(jin)密(mi)性強,經(jing)久好用(yong),不(bu)會輕(qing)易斷

長寬(kuan)比:Φ40/60/80*/1000mm

4個(ge)空氣氧化鋁粉管堵

活套法蘭及支撐體系

SUS304不銹鋼圓(yuan)管(guan)迅猛(meng)風冷法蘭(lan)部,經常(chang)性風冷無生銹

兩(liang)個管接頭就能進行活套法蘭的拼接,放、取原物料便于便捷

調節節的法蘭片支柱著(zhu),穩(wen)定平衡爐管的剛度支柱著(zhu)

一般包括進氣、撒氣、負壓抽口針閥,KF封口圈(quan)及卡箍(gu)接頭(tou)組合構成(cheng),4個密封性能熱熔膠圈(quan)等(deng)

高溫整體

預熱元器件(jian)封裝:6根(gen)U型硅鉬棒(bang)

蒸汽加熱區時間:280mm

恒溫性(xing)比較(jiao)好(hao)區(qu)厚度(du):100mm

事(shi)業水溫:≤1600℃

極高室溫:1650℃

回升速度(du):≤10℃/min

溫度控制系統

體溫(wen)控制通過人工客服電話智能化調(diao)整(zheng)高(gao)技術(shu),含有PID調(diao)高(gao)、自(zi)整(zheng)定性(xing)能

50段上升(sheng)下(xia)降溫程序代碼

溫度(du)測量電子器件:B型雙鉑銠電偶

恒(heng)溫性比較好精(jing)確:±1℃

HQF-Ⅲ混氣(qi)機系(xi)統

三(san)路(lu)浮子聯(lian)通(tong)水流量(liang)計系統配置在挪(nuo)動工做門外,都(dou)可以一并通(tong)入(ru)三(san)路(lu)各個的其他氣體

內部自(zi)帶鋁合金混氣(qi)箱(xiang),每路的氣(qi)體內部管道均裝有逆止閥

壓(ya)縮空氣管道(dao)運用(yong)聚(ju)四(si)氟丁二烯橡(xiang)膠軟管,耐溫性耐腐

每路有(you)害氣(qi)體(ti)進氣(qi)內部管道配備不銹鋼裝飾管針閥

精準流量尺寸(cun)規格:0.3~3L/min

把控準確度:±5%

低真空泵裝置

按照雙極(ji)旋片抽(chou)真(zhen)空系(xi)(xi)統泵(beng),抽(chou)真(zhen)空系(xi)(xi)統度(du)達(da)到5x10-1 Torr

304不繡(xiu)鋼(gang)充(chong)油真空環境負擔(dan)表,優秀的抗振性(xing)

原機紅外測溫程序

溫度測(ce)量電子器件可(ke)從升溫區頂部擴(kuo)展至溫區核心

活套法蘭封密帶(dai),維持爐管的(de)封密帶(dai)性(xing)

溫度測量電(dian)氣元件:B型雙鉑銠鉑熱(re)電(dian)阻(zu)

尺寸

高溫(wen)爐:660*580*910mm

混氣(qi)活動崗位(wei)臺(tai):800*540*720mm

可選擇物品

HQZ混氣系統(tong)軟件,中、高真(zhen)空體操作(zuo)系統(tong),各種各樣(yang)的剛(gang)玉(yu)(yu)坩堝,剛(gang)玉(yu)(yu)管,算(suan)出機操控圖片軟件,無紙記載儀(yi),氧占比具體分(fen)析(xi)儀(yi)器,冷卻塔水重復機等(deng)。





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