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PECVD技藝中仍然等(deng)正鐵陰(yin)離(li)子(zi)體(ti)中高速路動作的智(zhi)能的碰撞到堿性的現象(xiang)廢氣(qi)(qi)碳(tan)氧原子(zi)結(jie)構,則(ze)會(hui)使(shi)堿性現象(xiang)廢氣(qi)(qi)碳(tan)氧原子(zi)結(jie)構轉化為魂(hun)晶或存在促活(huo)的的情況(kuang)最(zui)易的時(shi)有(you)發生(sheng)(sheng)現象(xiang);靈活(huo)運(yun)用微波射(she)頻等(deng)使(shi)所(suo)含復合膜組合氧原子(zi)的廢氣(qi)(qi),在局部位(wei)達(da)成等(deng)正鐵陰(yin)離(li)子(zi)體(ti),而等(deng)正鐵陰(yin)離(li)子(zi)體(ti)化工活(huo)性酶(mei)太強,很最(zui)易的時(shi)有(you)發生(sheng)(sheng)現象(xiang),在基片上沉淀(dian)積累出所(suo)希(xi)望(wang)的復合膜;還(huan)具有(you)大多高溫低、沉淀(dian)積累傳送(song)速度快、涂層厚度檢測線(xian)質量優、針孔較少、不會(hui)裂縫等(deng)優缺點(dian); PECVD大(da)型向下打開式管式爐(lu)程(cheng)序經由向下爐(lu)體來(lai)做(zuo)到(dao)快捷的(de)上下溫,性能其他的(de)負壓程(cheng)序來(lai)超(chao)過非常完美的(de)負壓度(du);并且經由多(duo)路高高精準度(du)效(xiao)果的(de)渦輪流量(liang)計管控其他氣(qi)休。是進行(xing)試驗室種子發芽聚酰(xian)亞(ya)胺(an)膜(mo)(mo)納米材料,金屬材料聚酰(xian)亞(ya)胺(an)膜(mo)(mo),瓷(ci)器聚酰(xian)亞(ya)胺(an)膜(mo)(mo),挽回聚酰(xian)亞(ya)胺(an)膜(mo)(mo)等的(de)非常完美使用。 主要是用處: 髙校、研究院所(suo)運用(yong)在高壓氣(qi)渡膜(mo)、奈米膠(jiao)片(pian)建材準備,生長的膠(jiao)片(pian)石墨烯(xi)材料,塑(su)料膠(jiao)片(pian),瓷器膠(jiao)片(pian),結(jie)合(he)(he)膠(jiao)片(pian)等,也可當為(wei)尋址等化合(he)(he)物家電清洗刻(ke)蝕運用(yong)。 | |
系統性能: | |
爐體空間結構 | 多層爐(lu)殼間配備有(you)風冷裝置(zhi),可以有(you)效確(que)定機殼單(dan)(dan)單(dan)(dan)從表面溫; 灶具邊側安(an)裝有四只導軌,電信穩(wen)定 鍋里需要速(su)騰自動檔從那(nei)端(duan)滑(hua)向另那(nei)端(duan),完成(cheng)如何快速(su)的采暖器和急冷(leng) 爐蓋可啟閉,會(hui)實時交通檢查(cha)調溫的介質 |
主機電源 | 電阻:AC220V 50/60Hz;工率:4KW |
爐管 | 高(gao)純熔融石英管,高(gao)溫環境下電(dian)化學不(bu)穩定性和可靠性分(fen)析性強,耐腐蝕性性,熱膨漲常(chang)數非(fei)常(chang)小 尺(chi)寸大(da)小:Φ60*1250mm |
法蘭部及斜撐 | SUS304304不銹(xiu)鋼最快活套法蘭,依據用較高溫度“O”型圈密實封口(kou)可榮獲(huo)高真空(kong)箱 一卡箍接(jie)頭就能完成任務法蘭(lan)部的(de)銜(xian)接(jie),放、取原料方便(bian)簡潔(jie)一鍵 可變(bian)節(jie)的(de)活(huo)套(tao)法蘭支(zhi)柱(zhu),動平衡機爐管的(de)承載力支(zhi)柱(zhu) 其中包含進氣、撒氣、蒸(zheng)空抽口針閥,KF封好(hao)圈及(ji)卡(ka)箍接頭結(jie)構 |
電加熱裝置 | 加熱組件使(shi)用(yong)優越合金(jin)屬絲0Cr27Al7Mo2,外觀容(rong)載高(gao)、經久(jiu)抗用(yong) 加(jia)熱區尺寸:270mm 恒溫性比較好區段(duan)長度(du):100mm 本職工作室(shi)內(nei)溫度:≤1150℃ 最多濕度(du):1200℃ 增溫頻率(lv):10℃/min |
溫控儀程序 | 高(gao)溫管(guan)控選(xuan)用人(ren)員智能化可以調(diao)節技藝(yi),兼備PID設定(ding)、自整定(ding)功能鍵 30段升降(jiang)系統溫執行程序 紅外測溫電子器件:N型熱電阻 恒溫恒濕精(jing)密度較:±1℃ |
混氣系統 | 四路效率數(shu)(shu)據(ju)水留(liu)量計:數(shu)(shu)子表(biao)現、甲烷(wan)氣體(ti)數(shu)(shu)據(ju)留(liu)量自功操作(zuo) 預置(zhi)不透鋼混(hun)氣(qi)箱,每(mei)路其(qi)他氣(qi)體導壓(ya)管均配備逆止閥 聚氨酯保(bao)溫管選(xuan)取不銹鍍鋅鋼管,usb接口為(wei)Φ6卡套 每路汽體進氣壓縮(suo)空氣管道還配(pei)有裝飾(shi)管針閥(fa) 根據把握(wo)表面面板上的旋紐來(lai)調準有機廢氣(qi)氣(qi)體(ti)留(liu)量(liang) 用戶外形(xing)尺寸:0~200sccm 人(ren)流量高精(jing)準度(du):±1.5% |
高蒸空蒸空軟件 | 主要采用(yong)單級旋片(pian)重力(li)作(zuo)用(yong)泵+原子核泵,限制重力(li)作(zuo)用(yong)led光通(tong)量4.0*10^-4Pa 符(fu)合重(zhong)力作用計,配資(zi)電容(rong)規+電離(li)規 抽速:110L/S 冷凝:風冷 電源開關:AC220V 50/60Hz |
頻射電源適配器(qi)機系統 | 效果瓦數:0-300W 電機(ji)功率平穩度:±0.1% rf射頻(pin)電源線聲音頻(pin)率(lv):13.56MHz 穩明確(que)高(gao)性±0.005% 最(zui)多選擇性瓦數:120W rf射頻電壓電子廠傷害網(wang)口:UHF 保壓:風冷 交(jiao)流(liu)電源:AC187-253V 50/60Hz |
要選耗材部件 | 混(hun)氣體(ti)系(xi),中(zhong)、高(gao)真空度(du)系(xi)統化,種種剛玉、石(shi)英晶體(ti)晶體(ti)坩堝(guo),石(shi)英晶體(ti)晶體(ti)管,估算機(ji)把(ba)握平臺,無(wu)紙紀錄(lu)儀(yi)(yi),氧(yang)含磷量(liang)進行測試儀(yi)(yi)。 |